半導体製造装置用電気スリップリング

電気スリップリングは 半導体機器の高精度回転コアコンポーネントで 自動生産のために 設計されています半導体産業における高信頼性の運用条件360°の連続回転で,安定した電源伝送,エンコーダー信号,および様々な敏感信号を保証します.中央の穴とオプションの空気または水力回転関節で設計されたこの統合ソリューションは,ワッフル加工,パッケージング,テスト,および製造における幅広い半導体機器をサポートします.そして自動化段階.

半導体生産プロセス全体におけるコアアプリケーション

電気スリップリングは半導体ウエファー製造,チップパッケージング,完成品試験の全生産プロセスに広く使用されています半導体機器の回転メカニズムに適しています.

主要な用途:

1フロントエンド・ウェーファー製造

光抵抗コーティングや開発機,エッチングマシン,PVD/CVD薄膜堆積システム,CMPマシンなどの機器で使用されます.回転チャック,ターゲットステージ,または磨き頭のために理想的です.ワイファーキャリア用の透孔付きガスパイプラインです

2バックエンドパッケージングとテスト

ワッファー切断,ダイ結合,ワイヤー結合,および鋳造機械に適用されます. 旋回インデックステーブルとピック&プレイスメカニズムをサポートします.試験用ケーブルや駆動用ケーブルのための真空線や試験用ケーブルのための孔付き.

3. 完全なプロセス検査と分類

ワッファープロバー,チップ視覚検査システム,電気試験機器のために.回転作業台やギンバルシステムで高信頼性の信号伝送を保証します.レンズフォーカスシャフトや探査機駆動用の透孔付き.

4自動化と補助機器

ワッフル AGV回転リフト,生産ラインロボット,およびFOUPハンドリングシステムで使用されます.そして流体伝達.